大気圧プラズマによる円管内壁へのダイヤモンド状炭素膜合成

研究課題

研究責任者	大竹尚登東京工業大学, 大学院理工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	近年、機械部品の耐摩耗保護膜としてDLC膜が注目され、油圧摺動部品などに用いられる金属円管内面へのDLC膜コーティングも需要が高まっている。従来の0.1～50 Paの高真空下で行われるプラズマCVD法では、アスペクト比が高い円管内面にDLC膜を合成することは困難であった。本研究は細径・高アスペクト比の金属管内面へのナノパルスプラズマCVDによるDLC膜成膜を目的として金属円管自身を真空容器とするナノパルスプラズマCVD装置を試作し、準大気圧(13300 Pa:1/10気圧)において内径40mmおよび14 mm、長さ300 mmのSUS304円管内面に、テトラメチルシランを原料とした中間層の上にDLCを成膜できることを明らかにした。