多接合PVの効率向上に向けた広帯域透明導電膜の電圧印加型プラズマ合成

研究課題

研究責任者	佐藤直幸茨城大学, 理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	亜鉛-酸素混合プラズマ中で、ニッケル電極付きのパイレックスガラス基板に低いシート抵抗のZnO透明導電膜を合成した。この装置は、ニッケル電極に-200 V ～ +80 Vまでの直流電圧を印加しながら膜を合成できる。その結果、亜鉛と酸素の混合比調整でシート抵抗を低減できる限界を超えられる可能性を検証できる装置を開発した。