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多接合PVの効率向上に向けた広帯域透明導電膜の電圧印加型プラズマ合成

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 佐藤 直幸  茨城大学, 理工学研究科, 准教授
研究期間 (年度) 2012 – 2013
概要亜鉛-酸素混合プラズマ中で、ニッケル電極付きのパイレックスガラス基板に低いシート抵抗のZnO透明導電膜を合成した。この装置は、ニッケル電極に-200 V ~ +80 Vまでの直流電圧を印加しながら膜を合成できる。その結果、亜鉛と酸素の混合比調整でシート抵抗を低減できる限界を超えられる可能性を検証できる装置を開発した。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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