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Plasma windowを用いた大気・真空インターフェースの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 難波 愼一  広島大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度) 2012 – 2013
概要高気圧アーク放電を利用したプラズマウィンドウは大気と真空を隔離し、一方で荷電粒子や軟X線に対しては透過率が高い革新的インターフェースに成り得る。本課題ではTPD型放電源(改良型アーク)を開発し、プラズマウィンドウとしての可能性を調べた。特に小型化・低コスト化を意識して有効プラズマ径2 mm、大差動排気系なしで大気圧から10-3 Torrの圧力差を僅か80 mmで実現する装置を開発した。20 A放電条件下でのプラズマは温度2 eV、 密度1015 cm-3であった。現在は冷却水量の問題で困難な放電電流100 Aのプラズマ発生により、目標とする圧力比10-6以上の高性能プラズマウィンドウが実現できるとの確証を得た。今後基礎研究をさらに重ね、数年以内での実用化を目指す。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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