3次元リソグラフィ用プロセス最適化シミュレータの開発

研究課題

研究責任者	平井義和京都大学, 学際融合教育研究推進センター, 特定助教
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	次世代のMEMSデバイスの高機能化、高集積化のための3次元(3D)加工技術として、フォトレジスト(感光性樹脂)の立体形状を作製するグレースケールリソグラフィが注目されている。しかし目的形状に精度の高い加工や複雑な形状が要求される場合、最適な加工パラメータの組み合わせを考えるのは難しい。これまでは研究者や技術者の経験による試行錯誤的アプローチだったため、膨大な労力と時間がかかっていた。そこで本課題では試作・開発時間の短縮と低コスト化を目的にグレースケールリソグラフィの加工パラメータを自動的に最適化するプロセスシミュレータを開発した。本シミュレーションを使えば目標の立体形状と5%以内の加工誤差で加工パラメータを決定できることを実験的に実証した。