SrTiO3単結晶基板表面へのハーフステップ構造形成技術の開発

研究課題

研究責任者	山本剛久名古屋大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	薄膜成長用複合酸化物基板の表面ステップテラス構造において、テラス終端原子面種やステップテラス高さを制御できる技術開発の探索を行った。その結果、SrTiO3をモデル結晶として、Sr、Tiイオンの空孔形成エネルギーを添加物イオンにより調整したところ、熱処理法により(001)表面にハーフステップ高さを有するステップテラス構造を構築することに成功した。空孔形成エネルギー制御という当初の目的について達成できた。ここで得られた技術は、SrTiO3に代表される各種複合酸化物結晶についても同様に展開できる基本的な技術であると考えている。今後、より再現性の高い技術として確立させるために、添加物の添加量、熱処理時の酸素分圧の最適化に取り組む。