光応答型CNT分散液を用いた塗布型透明導電膜作製及び微細加工技術の開発

研究課題

研究責任者	松澤洋子独立行政法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員
研究期間 (年度)	2012 – 2013
概要	現在、透明導電膜材料として使用されている酸化インジウムスズ(ITO)の抱える問題点(資源の国際的偏在、使用可能基板の制限)を解決するために、カーボンナノチューブ(CNT)を代替材料とした透明導電膜を開発する。特に、CNT導電膜のパターニング技術はレーザー加工、インクジェット、電子線加工など量産に適さない、かつ、基板の損傷を伴う手法によるほかない。申請者は、これまでに、光で分子構造が変化することで、CNT表面物性を制御し、水中で分散性を制御可能な分散剤を開発した。この光応答性分散剤を用いて作製したCNT分散液を用いてCNT薄膜をウエットプロセスにより作成し、マスク露光による簡便で基板を傷めない微細加工技術を確立する。