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近接場偏光顕微技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN12B8
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN12B8
研究責任者 保坂 純男  群馬大学, 大学院工学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2012 – 2015
概要10nm以下の磁区分布計測は、スピン偏極電子顕微鏡で行われていますが、試料作製の複雑さ、装置の簡素化などに大きな課題があります。本課題では、新たにプラズモン励起近接場光探針を用いた近接場偏光顕微鏡(SNPM)技術を開発し、簡易装置で10nm分解能を持つ磁気特性評価手段であることを実証します。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2019-12-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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