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ラボベース軟X 線光源用大開口・回転体集光ミラーの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN12BC
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN12BC
研究責任者 三村 秀和  東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授
研究期間 (年度) 2012 – 2015
概要高輝度ラボベース軟X線光源を最大限活用するためには、発散するX線を集めることができる大開口・回転体X線ミラーが有効です。しかし、理想的なX線ミラーには、シングルナノメートルの極限の精度が必要であるため実現されていません。本課題では、3次元ナノ精度加工、常温電鋳法、3次元形状評価法、追加成膜形状修正法を開発することにより、理想的な性能を有する回転体軟X線集光ミラーを世界にさきがけて実現するとともに、将来の軟X線顕微鏡開発を視野に入れ、X線ミラーの設計・作製・評価を行います。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2019-12-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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