ラボベース軟X 線光源用大開口・回転体集光ミラーの開発

研究課題

体系的番号	JPMJSN12BC
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN12BC
研究責任者	三村秀和東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2012 – 2015
概要	高輝度ラボベース軟X線光源を最大限活用するためには、発散するX線を集めることができる大開口・回転体X線ミラーが有効です。しかし、理想的なX線ミラーには、シングルナノメートルの極限の精度が必要であるため実現されていません。本課題では、3次元ナノ精度加工、常温電鋳法、3次元形状評価法、追加成膜形状修正法を開発することにより、理想的な性能を有する回転体軟X線集光ミラーを世界にさきがけて実現するとともに、将来の軟X線顕微鏡開発を視野に入れ、X線ミラーの設計・作製・評価を行います。