SPM装置シミュレータの活用・普及促進

研究課題

企業責任者	アドバンストアルゴリズム&システムズ
研究期間 (年度)	2012 – 2014
概要	【装置】本プログラム「プロトタイプ実証・実用化タイプ」において開発した走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置シミュレータを開放(共同利用)します。【内容】このSPM装置シミュレータは、特に半導体やナノ材料等の試料の精確分析が可能なものであり、本シミュレータの活用により、実測値と計算値との比較、計算パラメータ作成ソフトの使用等で幅広い高精度解析が可能となり、ナノ工学への貢献が期待されます。