| 体系的番号 |
JPMJSN12E4 |
| DOI |
https://doi.org/10.52926/JPMJSN12E4 |
| 企業責任者 |
アドバンストアルゴリズム&システムズ
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| 研究期間 (年度) |
2012 – 2014
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| 概要 | 【装置】本プログラム「プロトタイプ実証・実用化タイプ」において開発した走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置シミュレータを開放(共同利用)します。 【内容】このSPM装置シミュレータは、特に半導体やナノ材料等の試料の精確分析が可能なものであり、本シミュレータの活用により、実測値と計算値との比較、計算パラメータ作成ソフトの使用等で幅広い高精度解析が可能となり、ナノ工学への貢献が期待されます。
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