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SPM装置シミュレータの活用・普及促進

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 開発成果の活用・普及促進

体系的番号 JPMJSN12E4
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN12E4
企業責任者 アドバンストアルゴリズム&システムズ
研究期間 (年度) 2012 – 2014
概要【装置】本プログラム「プロトタイプ実証・実用化タイプ」において開発した走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置シミュレータを開放(共同利用)します。 【内容】このSPM装置シミュレータは、特に半導体やナノ材料等の試料の精確分析が可能なものであり、本シミュレータの活用により、実測値と計算値との比較、計算パラメータ作成ソフトの使用等で幅広い高精度解析が可能となり、ナノ工学への貢献が期待されます。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2015-09-30   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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