長尺基板対応大画面プラズマスパッタシステム

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 実用化挑戦タイプ中小・ベンチャー開発

体系的番号	JPMJTT12S6
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT12S6
企業責任者	株式会社イー・エム・ディー
研究責任者	節原裕一大阪大学, 接合科学研究所, 教授
研究期間 (年度)	2012 – (非公開)