1. 前のページに戻る

複雑な表面構造の解析のための低速電子回折法の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 水野 清義  九州大学, 総合理工学研究院, 教授
研究期間 (年度) 2013
概要電界誘起ガスエッチング法を用いてタングステン針を原子レベルで先鋭化し、その先端から放出される電子線を磁場レンズによって収束させて試料表面に照射し、シャープな回折パターンの測定に成功した。電子源となるタングステン針には安価な<110>方位を向いたワイヤーを使用し、再現性良く開き角5度程度の安定な電界放出電子線を得ることができた。この電子線を、コイル状の磁場レンズを用いて収束させることができた。収束させた電子線のサイズを正確に測定できるように装置改良を行っている。この電子線をシリコンカーバイド上のグラフェン表面に照射して回折パターンを観察することができた。得られた回折パターンはスポットの半値幅が従来装置の半分以下でバックグランドも低いことがわかった。今後、有機分子吸着構造の解析などに役立てたい。

URL: 

JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

サービス概要 よくある質問 利用規約

Powered by NII jst