| 概要 | 本課題では,超伝導アンテナ結合型の固有ジョセフソン発振器の開発を目指して研究を進めてきた.第一に,独自のデバイス作製方法として極低濃度塩酸を用いBi2Sr2CaCu2Oxを極低濃度塩酸に浸漬させBiOCl結晶へと改質させる方法を再現性あるものとするために改質結晶の生成速度を詳細に調べた.その結果,pH1.65およびpH1.80の塩酸を用いた場合には結晶のc軸方向へは時間の平方根に比例した拡散律速機構,ab面内へは時間に比例した反応律速機構によって改質が支配されている事が分かった.また,pH1.5の塩酸を用いた場合には,レジスト下部が階段状に改質される特異な現象が発見された.また,同時進行で進めた発振特性の評価では,素子の自己発熱効果の影響がTHz発振に影響を及ぼすことが明らかとなった.現在,自己発熱効果の制御には至っておらず今後は得られた改質条件と併せて,素子の放熱特性の改善によって実用化デバイスとしてのTHz発振器の開発を進める.
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