酸化物ナノ結晶の低温生成法とその高品質半導体への応用

研究課題

研究責任者	羽賀浩一仙台高等専門学校, 地域イノベーションセンター, 教授
研究期間 (年度)	2013
概要	合成ゴムの添加剤である安価なアセチルアセトン亜鉛の有機金属錯体を原料とし、低温の真空環境で昇華・再結晶化することにより、半導体製造に適した純度を有するファイバー状アセチルアセトン有機錯体が得られ、この有機錯体を120°C以下の高温水蒸気中で熱水分解することにより、ナノ結晶酸化亜鉛を再現性良く作製することが出来た。このナノ結晶をエタノールとアセトンの混合溶液に導入し、さらにナノ結晶同士を接合する目的でアセチルアセトン溶液を添加した塗布用の懸濁液を作製し、この懸濁液をスピンコート法および滴下法に適用してナノ結晶酸化亜鉛の塗布膜の形成に成功した。塗布膜の組成、構造、外観等の物性的な確認が得られたが、発光特性や電気特性の評価には至らなかった。