| 研究責任者 |
脇田 紘一 中部大学, 生命健康科学部, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2013
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| 概要 | 本素子は光の超並列性・超高速性を活かして光の波面を空間的に自由に制御するもので、既存素子を速度・駆動電圧で凌駕する新しい光情報処理システム実現を目指している。当初計画に比べ予期せぬ装置の故障(結晶成長装置と水素純化装置)及びポスドク研究員の急な帰国で、高純度エピ層が枯渇して素子作製に支障をきたしたため、結晶性評価用の半絶縁性基板上に形成されたエピ層を流用し、これに直接ショットキー電極、アース電極を形成して基本性能を調べた。その結果、残留不純物は故障以前のレベル1013cm-3台に戻り、空乏層厚はゼロVで数μm、10Vで数10μmとなり、十分な消光比の得られるレベルであることが判明した。作製素子の容量測定から応答速度を計算し、所期の値となっていることを確認した。
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