| 概要 | 液圧によるパワー伝達はマイクロ環境下でも高出力密度を実現できることが指摘されている .一方,最近開発された機能性流体 ECFを用いた液圧駆動原理はマイクロ環境下に適している.本研究開発では,これまでの知見を整理し,より小形で高出力なマイクロポンプモジュールに必要な電極形状や配置方法について検討した.また新たなマイクロポンプモジュールと電極対を製作し,実験により形状パラメータの最適化を図った小形で高出力なポンプモジュールの構造を提案した.従来の円筒形マイクロポンプモジュールの全長を10分の1,内径を3分の1に小形化し,印加電圧5 kVで最大圧力5.0 kPaの性能を実現できる見通しがついた.
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