光透過性を可変できる保育器応用に資する調光デバイスの開発

研究課題

研究責任者	田嶌一樹独立行政法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員(移行)
研究期間 (年度)	2013
概要	本事業における目標は調光用保育器に適する調光機能を有する材料開発ならびにプロセス開発が主である。実施例として薄膜材料を用い、方法としてクオリティの高い材料作製が可能であるマグネトロンスパッタリング法を選択した。種々材料性質の影響因子として、成膜時印可電圧、真空度、ガス混合比、膜厚、構造などがあり、特に当該開発において調光機能としての切り替え速度は、成膜時圧力が大きな要因であり、圧力を制御することで円滑な調光機能を発現する薄膜作製条件を見出した。当該用途においてはポリカーボネートを基材として用いるためフレキシブルデバイスの作製も可能とした。連携研究者は本デバイスの保育器への適用可能性を調査した。