半導体ハイブリッドMOS電極構造を用いた超高感度FET型ガスセンサの開発

研究課題

研究責任者	三好実人名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授
研究期間 (年度)	2013
概要	ガス感応性の酸化膜半導体を窒化物半導体エピ膜上に形成し、高温動作が可能な半導体ハイブリッドMOSダイオード型ガスセンサを試作した。試作したダイオード素子の電気特性を評価したところ、良好な整流特性と、十分に低い逆方向電流特性を得た。また、ガスセンサ評価用チャンバを製作し、試作したMOSダイオードのガス検知試験を行ったところ、環境温度250°Cにて、空気中ガス濃度40ppmとなる一酸化窒素(NO)ガスを検知できることを確認した。