| 概要 | TiO2-NbO2/ZnOからなる2層化シード層を用い,ガラス上に100配向したTa:SnO2(TTO)薄膜を形成し,高い透明性と導電性をもつ透明導電膜を得ることに取組んだ。光学シミュレーションから,シード層の厚さとTTOの電子濃度の調整にて広い領域で高い透明性を実現できることがわかった。実験的には,2層化シード層を用いて100配向したTTO膜の成長に成功した。しかし,高い導電性は得られなかった。原因は,シード層構成元素がTTO膜へ拡散するためと考えられる。導電性の向上には,成膜プロセスの低温化やシード層材料の再検討等が必要である。 導電性以外の目標はおおむね達成できた。導電性の目標を達成するための課題が明かになったので,今後の取組みにより目標を達成できると思われる。
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