規則配列ナノ細孔薄膜への酸化物ナノ粒子形成技術とメモリ素子への展開

研究課題

研究責任者	香野淳福岡大学, 理学部, 教授
研究期間 (年度)	2013 – 2014
概要	シリコンやガラスの基板上にナノメートルの筒状ナノ細孔が規則配列したポーラス薄膜を形成し、その細孔中に強誘電体ナノ粒子を合成するプロセスを開発する。20nm以下のサイズ制御されたナノ粒子が集積した薄膜において、強誘電性によるメモリ機能や誘電応答の粒子サイズ依存性を明らかにし、ナノ特有の現象を電子素子機能に利用するための要素技術を開発する。化学溶液によるソフトプロセスと自己組織化を現象を用いて、毒性が低く、かつありふれた元素からなる物質による機能素子を実現することで、安全で、安価で、再現性の高い安定した手法を開発する。消費エネルギーの極めて少ない機能素子の実現に貢献する。