量産プラズマ製造装置用汎用小型ワンポート型側壁ラジカルモニターの開発

研究課題

研究責任者	竹田圭吾名古屋大学, 工学研究科, 助教
研究期間 (年度)	2013
概要	今回の研究開発においては、現在幅広い分野で活用されるプラズマプロセス内部の重要活性種である原子状ラジカルの絶対密度計測を可能する汎用性の高いラジカルモニターの構築を目的とした。真空紫外吸収分光法をベースとした本モニターの開発には設計・部材の選定等から進め、最終的にはICF114サイズのポートに接続可能な1ポート型壁際ラジカルモニターの構築に成功した。そして、構築したモニター装置の実プロセス(窒素プラズマ)での評価の結果、窒素ラジカル密度の時間変化のリアルタイムにモニタリングや、200mmウエハー対応のプラズマエッチング装置への適用も十分可能であり、本装置の汎用性と有用性の高さを十分に示す結果が得られた。以上の成果より、本モニター装置は、現在のプラズマプロセス装置の更なる高度化を実現するとともに、プラズマ技術を要する新成長分野の発展を促進するものと期待される。