| 概要 | ミラーと永久磁石を同じ可動部に取付ける構造を有する従来方式の光スキャナ用高速アクチュエータは,磁気減衰損失の影響が大きく,高速での駆動が困難である。これに対して,新しいデュアル共振系をもつ光スキャナ用高速電磁振動アクチュエータを提案し,磁気減衰を受けず省電力,かつ大振幅駆動に着目した研究を行った。 提案構造に基づいて,試作機を製作した。磁気減衰が発生する可動子1は振動ミラーである可動子2を駆動し,回転角はそれぞれ0.2度と4.2度であった。可動子1は可動子2の約20分の1の振幅で駆動ができ,その磁気減衰も20分の1となった。提案構造の有効性を確認された。今後,可動子2の回転角を更に大きくする検討を行う。
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