金属ナノドットアレイを利用したプラズモニックセンサーの効率的製造法の開発

研究課題

研究責任者	吉野雅彦東京工業大学, 大学院理工学研究科(工学系), 教授
研究期間 (年度)	2013
概要	本研究は、感染症などの迅速診断に有効な金属ナノドットアレイを効率よく低コストで作製することを目標としている。そこで超微細格子溝を加工した石英基板を利用し、金属薄膜のコーティングと焼鈍法による自己組織化により金属ナノドットアレイを生成し、さらにそれをプラスチック板に転写するプロセスを提案した。この実現のため超精密切削加工による石英基板への微細格子溝加工法およびナノドットアレイのプラスチック基板への転写法、さらにプラズモニックセンサーとしての性能向上法について検討した。今後、石英基板の具体的な加工ノウハウを蓄積することにより大面積ナノドットアレイの効率的な製造が可能になると考えられ、プラズモニックセンサーの実用化が期待される。