自己組織化ナノ構造体を用いたバブル径制御可能なナノバブル発生装置の開発

研究課題

研究責任者	庭野道夫東北大学, 電気通信研究所, 教授
研究期間 (年度)	2013
概要	本件の目標は100nm以下の泡を発生させるナノバブル発生装置の開発にある。この装置は、水中内でアルミナ細孔膜に空気圧をかけることでナノバブルを発生させる。100nm以下のナノバブルを発生させるためには、100nm前後のアルミナ細孔膜を作製する必要があったが、陽極酸化法を用いた自己組織化により60～200nmのレンジで任意の大きさに細孔サイズを調整したアルミナ細孔膜を作製することに成功した。また、アルミナ細孔膜が0.1MPa以上の圧力に耐えられる必要があったが、陽極酸化およびエッチングの条件最適化により0.3MPa程度まで耐えられる強度をもったアルミナ細孔膜を作製することができた。このアルミナ細孔膜を用いることにより、100nm以下の泡を発生させるナノバブル発生装置が開発することができた。