| 概要 | 多結晶ダイヤモンド工具を用い,セラミックスや超硬合金といった硬脆材料に対して高品位微細形状加工を実施する際,工具の表面に強固に付着するチップが大きな問題であった.本研究では,専用エッチング液を工具先端にピンポイントで強制供給する小型リコンディショニングシステムを開発することで付着物を化学的に瞬時に除去し,工具を再生利用できる手法を開発した.開発した装置は手のひらサイズでコンパクトなため,工具の極近傍で自由に取り回しすることができ,工具の切れ味をモニタリングしつつ最適なタイミングで,迅速にリコンディショニングすることが可能となった.今後は,本手法と導入した専用CAMシステムを活用し,三次元複雑微細流路形状の高効率加工を実行していく.
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