積層型歪抵抗薄膜を用いた高温小型オイルレス圧力センサの作製

研究課題

研究責任者	筧芳治地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員(移行)
研究期間 (年度)	2013
概要	本研究では、室温～400°C以上のガス温度まで対応可能な圧力調整式流量制御器に必要な(SiC/Cr/SiC)積層型歪抵抗薄膜を用いた高精度の小型高温圧力センサを作製することを目的とした。本研究実施の結果、SiC膜とCr膜間へのTiCバッファ膜の挿入およびCr薄膜作製時の酸素流量制御により、(SiC/TiC/CrOx/TiC/SiC)積層膜において10以上の室温におけるゲージ率と±100ppm/K以内の電気抵抗の温度微分係数を同時に実現することができた。そして、この積層膜を用いて試作した圧力センサの出力は、従来と比較して大きく向上したが、温度上昇とともに減少した。本センサの実用化のために、この出力の温度依存性の改善を目指した研究が今後必要である。