高分子の半球をテンプレートに用いたキャビティ構造圧電体膜の作製とこれを用いたシングルエレメント超音波トランスデューサの試作

研究責任者	脇谷尚樹静岡大学, 工学研究科, 教授
研究期間 (年度)	2013
概要	高分子の半球をテンプレートに用いたゾルゲル-キャスティング法によりキャビティ構造を有する圧電体厚膜を作製し、これを用いてシングルエレメント型の超音波トランスデューサを試作すること目的とした。研究開発の結果、目的とする構造は当初の方法では作製できなかったが、本研究で開発したスリップキャスティング-スピンコーティング法により達成された。作製したシングルエレメント型の超音波トランスデューサからは基本波と、それの奇数倍と偶数倍の両方の高調波が発生すること、およびその超音波が収束することが明らかになった。さらに、複数のシングルエレメントを2次元に並べたアレイ型の超音波トランスデューサも作製し、同様の特性が得られることを明らかになった。