THVPE法による高品質バルクGaN成長用装置

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業産学共同実用化事業(NexTEP)

体系的番号	JPMJTT13N1
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJTT13N1
企業責任者	大陽日酸株式会社
研究責任者	纐纈明伯東京農工大学, 副学長
研究期間 (年度)	2013 – (非公開)