30 GHzをカバーする超高周波磁性薄膜透磁率評価装置の開発

研究課題

研究責任者	薮上信東北学院大学, 工学部, 教授(移行)
研究期間 (年度)	2013
概要	光学的手法および高周波電磁波を磁性薄膜へ印加することにより磁性薄膜の透磁率を評価し、30 GHz までの広帯域測定に成功した。また磁性薄膜への直接通電により膜厚が数nmの極薄膜の評価も可能となった。本研究で開発した手法はサンプルサイズに依存せずに広帯域かつ極薄膜の評価が可能にあることから従来の透磁率測定法にはない特長を有すると考えられる。