MEMS熱絶縁技術による波長選択赤外光源の高効率化

研究課題

研究責任者	佐々木実豊田工業大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2013
概要	特定波長を高効率で出射する熱型赤外光源を実現する上で重要な、高温部から周囲への熱伝導損失を最小に改良したマイクロヒータを試作した。薄膜化と大面積化を基本とするが、機械強度が減少する。文献では一辺0.5-1mmのデバイスが多いが、内径2.5から外径5.4mmの薄膜領域で中心部が高温となるマイクロヒータが製作できた。電気接続用の銀ペースト処理155°C、30minで膜が割れ、赤外光源の評価には至らなかった。但し、基本デザインの有効性が確認でき、真空中動作実験の準備ができた。熱膨張率が等しいSi薄膜デバイスを試作中である。並行して、過去のデータをまとめることで得た知見を特許出願し、学会等への発表も進めた。