ナノダイヤモンド・水酸化フラーレン混合スラリーによるサファイア高効率研磨技術に関する研究
| 研究責任者 |
鈴木 恵友 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 准教授
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| 研究期間 (年度) |
2013
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| 概要 | 本研究ではナノダイヤモンドスラリーに水酸化フラーレンを混合させることにより材料除去レートの高速化や表面粗さおよびスクラッチの低減が実現可能な研磨技術の確立を目指すものである.材料除去レートの高速化については従来のダイヤモンドスラリーより3倍向上させることを目標としており本研究では水酸化フラーレンの混合やナノダイヤモンド・水酸化フラーレン混合スラリーに光照射を行うことにより従来の4.5倍程度の向上効果を確認した. 次にスクラッチや表面粗さの低減するためダイヤモンド粒子径に関する評価を実施した.ここではナノダイヤモンド粒子の粒子径が小さくなるにつれスクラッチの低減は確認できた.
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