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磁気MEMSを利用した微小振動計測システムの開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 先端計測分析技術・機器開発プログラム 一般領域 要素技術タイプ

体系的番号 JPMJSN13B3
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJSN13B3
研究責任者 石山 和志  東北大学, 電気通信研究所, 教授
研究期間 (年度) 2013 – 2016
概要超高感度振動計測システムの開発を行う。磁歪薄膜技術とMEMS 技術を融合させた磁気MEMS 技術により現行の金属ひずみゲージの1万倍の感度を有する検知素子を開発し、極微振動を検知するシステムを実現する。これにより、例えば橋梁の振動を橋脚根元付近に取り付けた装置で計測可能となり、その振動スペクトルから健全性の診断を可能とする。さらにこの技術は振動を駆動源とする環境発電分野への展開も期待される。

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2019-12-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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