8インチ基板を用い、安全性を強化した高反応・高吸収効率MEMSフローリアクターの高精密製作量産化技術の開発

研究課題

企業責任者	株式会社テクニスコ
研究責任者	井上朋也独立行政法人産業技術総合研究所, 集積マイクロシステム研究センター, 主席研究員
研究期間 (年度)	2013 – 2014