超高速・超低消費電力LSI向けナノ界面制御超低抵抗率Cu配線技術の確立

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) シーズ育成タイプ

企業責任者	ティーイーアイソリューションズ株式会社
研究責任者	大貫仁茨城大学, 工学部, 教授
研究期間 (年度)	2014 – (非公開)