リソグラフィ用レジストの高性能化モジュール

研究課題

企業責任者	東京エレクトロン九州株式会社
研究責任者	田川精一大阪大学, 大学院工学研究科/産業科学研究所, 特任教授/招へい教授
研究期間 (年度)	2013 – (非公開)