貼り合せSiC基板製造装置

研究課題

企業責任者	株式会社サイコックス
研究責任者	高木秀樹独立行政法人産業技術総合研究所, 集積マイクロシステム研究センター大規模インテグレーション研究チーム, 研究チーム長
研究期間 (年度)	2014 – (非公開)