新奇な小型合金部品加工法による低摩耗・長寿命な超精密位置決めステージ用アクチュエータの開発

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) ハイリスク挑戦タイプ 復興促進型