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ニオブ酸リチウム単結晶ウェハにおける結晶欠陥の新画像検出法の開発研究
研究課題
産学が連携した研究開発成果の展開
研究成果展開事業
研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)
ハイリスク挑戦タイプ
復興促進型
企業責任者
NELクリスタル株式会社
研究責任者
星野 坦之
東京電機大学, 特別専任教授
研究期間 (年度)
2014 – (非公開)