研究代表者 |
益 一哉 東京工業大学, フロンティア研究機構, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2014 – 2019
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| 概要 | 「ナノG(加速度)計測」が産み出す新機能実現を目指します。デバイス・回路・モジュールレベルではCMOS−MEMS異種機能集積プロセスとその統合解析・設計技術による慣性センサの超小型化超低消費電力化とこれを利用したナノGレベルの超高感度計測を行います。材料レベルでは慣性センサに利用するAu合金錘のナノ結晶構造制御による機械的性質制御、さらに応用レイヤでは人体動態計測とその意味理解に基づくヘルスケア応用、また産業用展開に取り組みます。
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| 研究領域 | 素材・デバイス・システム融合による革新的ナノエレクトロニクスの創成 |
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