パワーデバイスの高信頼化技術:故障予測に向けた複合型リアルタイム・モニタリング・システムの開発

研究課題

研究責任者	渡邉晃彦九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教
研究期間 (年度)	2014 – 2015
概要	開発したシステムは、パワーサイクル試験中に、動作中デバイスに対して内部・界面構造（超音波観察）、表面温度分布（赤外線カメラ）、変位・ひずみ（3次元画像相関）の同時計測を行う。デバイス面積50cm2以上、ストレス電流500A（15kW）までに対応し、各パラメータは高い空間分解能、時間分解能で自動取得され、故障を引き起こすミクロな現象を明らかにする。研究レベルでは故障解析に十分な機能を有するが、データの自動解析機能などユーザーインターフェースを充実することで、パワーデバイス用故障解析システムとして標準化・普及が見込まれる。