パワーデバイスの高信頼化技術:故障予測に向けた複合型リアルタイム・モニタリング・システムの開発
研究責任者 |
渡邉 晃彦 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教
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研究期間 (年度) |
2014 – 2015
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概要 | 開発したシステムは、パワーサイクル試験中に、動作中デバイスに対して内部・界面構造(超音波観察)、表面温度分布(赤外線カメラ)、変位・ひずみ(3次元画像相関)の同時計測を行う。デバイス面積50cm2以上、ストレス電流500A(15kW)までに対応し、各パラメータは高い空間分解能、時間分解能で自動取得され、故障を引き起こすミクロな現象を明らかにする。研究レベルでは故障解析に十分な機能を有するが、データの自動解析機能などユーザーインターフェースを充実することで、パワーデバイス用故障解析システムとして標準化・普及が見込まれる。
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