Si-MEMS集積センサを用いた近接・触覚複合計測法の開発

研究課題

研究責任者	寒川雅之新潟大学, 自然科学系, 助教
研究期間 (年度)	2014 – 2015
概要	本研究開発では、Siを微細加工して作製した近接・触覚複合MEMSセンサにおいて、新たな計測手法とノイズ低減を目指した。発振回路およびダイオードを用いた計測回路をそれぞれ設計し、原理的な解析を行うとともに、実際に作製したセンサを用いて回路を構成し、その動作を確認した。従来は直流・交流の計測回路を切替えることにより触覚と近接をそれぞれ計測していたが、開発した手法により回路を切替えることなく触覚と近接の計測が可能となった。また、近接計測において、プローブ光を点滅させることにより出力を変調し、出力から変調した周波数成分のみを取り出すことで、環境ノイズを低減可能とした。さらに、センサの検知部の設計を改良することで、物体近接距離に対する感度を4倍に向上した。