ガラスファイバーを利用した新規高効率イオン注入装置の開発
  
  
  
 
  
  
   
    
    
    
    
      
        
      
      
        
          | 研究責任者 | 
          
          大幸 裕介  名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教
           | 
        
      
    
    
    
     | 研究期間 (年度) | 
     
      2014 – 2015
      | 
    
    
    
    
    
    
    
    
    | 概要 | イオン伝導性ガラスをファイバー化、また先端を先鋭化して電界印加することで、ガラスファイバーからのイオン放出を検討した。本研究において、ガラスファイバーからのH+およびAg+イオン放出を初めて実証した。H+イオンの場合、高分子膜への水素添加やベンゼン環の開裂反応が生じ、またAg+イオン放出ではターゲット基板に電子供給することで銀ナノ粒子の析出も可能であることを確認した。Ag+イオンは伝導性が高く、5μA/cm2を超える非常に高いイオン電流密度が得られた。さらに手のひらサイズのイオン銃を試作し、基本動作を確認した。本研究成果により、新たな化学分析や治療・医療技術、細胞工学など様々な分野でイオン注入の用途展開が期待される。
    
     |