天然ゼオライトを用いたSiCウエハの鏡面研削加工に関する研究
| 研究責任者 |
池野 順一 埼玉大学, 理工学研究科, 教授
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| 研究期間 (年度) |
2014 – 2015
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| 概要 | 本研究では天然物からヒントを得てSiCウエハを高い生産性で鏡面創成可能な研削砥石の開発を試みた．その結果，価格でシリカ粒子と比べ1/20に相当する安価な天然ゼオライトを用いることで，OH基との反応性の比較的高いC面で表面粗さ2nmRa，加工能率2.673mm3/hを得た．よって，SiCにおいて鏡面研削砥石としての可能性を見出すことができた．さらにSi面ではほとんど除去加工ができないこともわかり，メカノケミカル研削が行われていることを突き止めた．さらにゼオライトの特性を変化させる手法を見出し，加工能率を向上させることに成功した．最後に，鏡面創成可能なビトリファイドボンドゼオライト砥石を考案し，SiCの鏡面化に成功した．今後，砥石としての発展に期待できる．
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