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ガラス表面の高強度化と金属薄膜との密着性向上

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 探索タイプ

研究責任者 渡邉 満洋  山梨大学, 医学工学総合研究部, 助教
研究期間 (年度) 2014 – 2015
概要本研究では,金属酸化物層を用いてガラス表面に金属原子を拡散させることによるガラス表面の高強度化とCu薄膜とガラス基板の密着性向上に取り組んだ.金属酸化物層にはZnOならびにIn2O3を用い,ガラス表面への金属原子拡散のためのアニール条件,金属酸化物層堆積手法およびガラス基板種の影響を調べた.ZnO層ならびにIn2O3層のどちらを用いても適正な条件のアニール処理を施すことによって金属原子をガラス表面に拡散させることができ,拡散層形成後にPt微粒子触媒を付与することによって常温でCu薄膜を堆積したとしても高密着性なCu/ガラス構造を作製できることが明らかになった.

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2022-01-06   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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