軸方向放電励起方式による小型・高繰り返し・深紫外レーザーの開発
| 研究責任者 |
宇野 和行 山梨大学, 医学工学総合研究部, 助教
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| 研究期間 (年度) |
2014 – 2015
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| 概要 | 本研究開発では，軸方向放電励起方式による小型の高繰り返し・深紫外レーザーの開発を行った．N2レーザーでは，繰り返し50 Hzにおいて出力エネルギー97.5 μJのレーザーと繰り返し300 Hzにおいて出力エネルギー4.9 μJのレーザーを開発した．この結果より，高繰り返しにおいて高出力エネルギーを得る為の放電電圧の特性が明らかとなった．KrFレーザーでは，波長248 nmの強い発光と円形のビームを観測したが，スペクトル幅が広く，レーザー発振に至っていないと結論づけた．高反射ミラーの使用によりレーザー発振可能と考えられる．また，低ガス圧放電によるKrFの発光特性を明らかにした．
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