プラズマを用いた多電極全面一括型数値制御加工法の開発

研究課題

研究責任者	佐野泰久大阪大学, 工学研究科, 准教授
研究期間 (年度)	2014 – 2015
概要	予め計測した被加工物表面各位置の形状誤差に基づいて単一のプラズマ発生用電極を送り速度制御しながら全面走査加工する超精密加工法に対し、複数のプラズマ発生用電極を被加工物表面に対向して敷き詰め個別にプラズマ発生時間を制御して数値制御加工を行う超精密加工法を考案・検討してきた。本研究では、プラズマの生成・消滅を制御するためにトランジスタを用いることを提案し、隣り合う電極間の距離を最適に設計することで、電極毎にON/OFFが可能な19個の電極を有する多電極モジュールの試作に成功した。多電極全面一括型数値加工の実証実験として、市販SOI基板の表面シリコン層の数値制御加工を行い、厚さ分布の改善に成功した。