遷移金属酸化物のナノ空間3次元制御による省エネルギー駆動機能選択的相変化デバイス創製

研究課題

体系的番号	JPMJPR1529
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJPR1529
研究代表者	服部梓大阪大学, 産業科学研究所, 助教
研究期間 (年度)	2015 – 2018
概要	本研究では、独自に開発した3次元ナノ構造作製技術で10-100 nmサイズの金属酸化物ナノ構造体を創製し、ナノ電子相変化由来の巨大かつ急峻な抵抗変化を実現します。3次元ナノ空間に閉じ込めたナノ電子相変化を電界効果によって操作する「ナノ電子相変化制御電子技術」を確立し、極低電圧で動作するsteep slopeデバイスを創製し、低電力化の実現に取り組みます。
研究領域	素材・デバイス・システム融合による革新的ナノエレクトロニクスの創成

報告書

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