プラズモンセンサを用いた埋もれた界面計測システムの実用化開発

研究課題

体系的番号	JPMJSN15A4
DOI	https://doi.org/10.52926/JPMJSN15A4
研究責任者	本間敬之早稲田大学, 理工学術院, 教授
研究期間 (年度)	2015 – 2018
概要	材料・デバイスの最表面から界面までの分子構造や化学反応を非破壊で高精度その場計測する装置について、実用化を念頭に用途に応じたプロトタイプを開発する。汎用機は深さ分解能1nm以下、面分解能100nm以下で安定性・簡便性を重視した設計、また先端高機能応用対応機は、非スキャンでの3D高分解能一括測定および2ms以下の高速動的測定対応を目標とする。また上記性能を実現する感度1万倍以上の高感度表面増強ラマンセンサを開発する。本装置は固液界面反応やナノトライボロジー等の関わるエネルギーデバイスやストレージデバイス、さらに機械システムなど広範な産業分野への応用が期待される。