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機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 マッチングプランナープログラム

体系的番号 JPMJTM15GX
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM15GX
研究責任者 安部 隆  新潟大学, 大学院自然科学研究科, 教授
研究期間 (年度) 2015 – 2016 (予定)

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2016-04-26   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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