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ナノオーダ微細形状精度・微細壁面粗さ測定用 極小径スタイラス製作技術の開発

研究課題

産学が連携した研究開発成果の展開 研究成果展開事業 マッチングプランナープログラム

体系的番号 JPMJTM15JF
DOI https://doi.org/10.52926/JPMJTM15JF
研究責任者 村上 洋  北九州市立大学, 国際環境工学部, 准教授
研究期間 (年度) 2015 – 2016 (予定)

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JSTプロジェクトデータベース掲載開始日: 2019-12-25   JSTプロジェクトデータベース最終更新日: 2025-03-26  

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